Device and method for characterizing plasma

WO2006037704 Art A1 13. April 2006

Anmelder: École Polytechnique, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS- 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006037704
Aktenzeichen: EP05779095
Anmeldetag: 1. September 2005
Veröffentlichung: 13. April 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/00H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: École Polytechnique
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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