Solutions for cleaning silicon semiconductors or silicon oxides

WO2006039090 Art A2 13. April 2006

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006039090
Aktenzeichen: EP05796626
Anmeldetag: 13. September 2005
Veröffentlichung: 13. April 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C11D7/32

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe

Vertreten von