Multi-Chambered Excimer Or Molecular Fluorine Gas Discharge Laser Fluorine Injection Control

WO2006039157 Art A2 13. April 2006

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006039157
Aktenzeichen: EP05798846
Anmeldetag: 19. September 2005
Veröffentlichung: 13. April 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/22H01S3/223

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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