Corrosion resistant apparatus for control of a multi-zone nozzle in a plasma processing system

WO2006039211 Art A2 13. April 2006

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006039211
Aktenzeichen: EP05799867
Anmeldetag: 23. September 2005
Veröffentlichung: 13. April 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/00C23C14/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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