System and method for modulating flow through multiple ports in a proximity head

WO2006039225 Art A2 13. April 2006

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006039225
Aktenzeichen: EP05800732
Anmeldetag: 26. September 2005
Veröffentlichung: 13. April 2006
Rechtsraum: WO
IPC: F26B7/00F26B21/00F26B21/06F26B5/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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