Method and system for injecting chemistry into a supercritical fluid

WO2006039321 Art A1 13. April 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006039321
Aktenzeichen: EP05799691
Anmeldetag: 27. September 2005
Veröffentlichung: 13. April 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00B01D11/02B01J3/00B08B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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