Silicon inertial sensors formed using mems

WO2006039561 Art A2 13. April 2006

Anmelder: UNIVERSITY OF SOUTHERN CALIFORNIA, BEI Technologies, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006039561
Aktenzeichen
EP05821058
Anmeldetag
30. September 2005
Veröffentlichung
13. April 2006
Rechtsraum
WO
IPC
G01P3/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
UNIVERSITY OF SOUTHERN CALIFORNIA
BEI Technologies, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of Southern California

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