Multivalent ion generation source and charged particle beam apparatus employing such generation source

WO2006040850 Art A1 20. April 2006

Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006040850
Aktenzeichen: EP05729165
Anmeldetag: 8. April 2005
Veröffentlichung: 20. April 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01J27/20H01J37/08H01J37/30

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Firma: Japan Science and Technology Agency
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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