Substrate processing apparatus and semiconductor device manufacturing method
WO2006041169
Art A1
20. April 2006
Anmelder: Hitachi Kokusai Electric Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006041169
- Aktenzeichen
- EP05793583
- Anmeldetag
- 14. Oktober 2005
- Veröffentlichung
- 20. April 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi Kokusai Electric Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
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