Polymer encapsulated dicing lane (pedl) technology for cu/low/ultra-low k devices

WO2006041413 Art A1 20. April 2006

Anmelder: Agency for Science, Technology and Research 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006041413
Aktenzeichen: EP05788517
Anmeldetag: 7. Oktober 2005
Veröffentlichung: 20. April 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304H01L21/56H01L23/28H01L23/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Agency for Science, Technology and Research
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Agency for Science, Technology and Research

Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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