Process for film production and semiconductor device utilizing film produced by the process

WO2006043432 Art A1 27. April 2006

Anmelder: MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006043432
Aktenzeichen: EP05790628
Anmeldetag: 7. Oktober 2005
Veröffentlichung: 27. April 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/312H01L21/768C23C16/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Electric

Japanisches Unternehmen, das Elektro- und Elektroniktechnik entwickelt und herstellt, darunter Automatisierung, Energie-, Klima- und Fahrzeugtechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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