Liquid quantity monitor, semiconductor manufacturing equipment provided with liquid quantity monitor and method for monitoring liquid material and liquid quantity

WO2006043561 Art A1 27. April 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006043561
Aktenzeichen: EP05795797
Anmeldetag: 18. Oktober 2005
Veröffentlichung: 27. April 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/448G01F23/28

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von