R2r controller to automate the data collection during a doe

WO2006044016 Art A2 27. April 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006044016
Aktenzeichen: EP05783353
Anmeldetag: 10. August 2005
Veröffentlichung: 27. April 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G05B13/02G06F19/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von