Focal point detection device

WO2006046430 Art A1 4. Mai 2006

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006046430
Aktenzeichen: EP05793600
Anmeldetag: 17. Oktober 2005
Veröffentlichung: 4. Mai 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/34G02B7/28G03F7/207H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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