Electrostatic chuck apparatus
WO2006049085
Art A1
11. Mai 2006
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006049085
- Aktenzeichen
- EP05805224
- Anmeldetag
- 27. Oktober 2005
- Veröffentlichung
- 11. Mai 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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