Etching liquid and etching method

WO2006051608 Art A1 18. Mai 2006

Anmelder: ADVANCED DISPLAY INC., Mitsubishi Chemical Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006051608
Aktenzeichen: EP04799694
Anmeldetag: 9. November 2004
Veröffentlichung: 18. Mai 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C23F1/30H01L21/308

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ADVANCED DISPLAY INC.
Mitsubishi Chemical Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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