Sheet-shaped probe, probe card and wafer inspecting method

WO2006051878 Art A1 18. Mai 2006

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006051878
Aktenzeichen: EP05806256
Anmeldetag: 10. November 2005
Veröffentlichung: 18. Mai 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G01R1/073H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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