Methods and articles incorporating local stress for performance improvement of strained semiconductor devices
WO2006053213
Art A1
18. Mai 2006
Anmelder: University of Florida Research Foundation, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006053213
- Aktenzeichen
- EP05848549
- Anmeldetag
- 9. November 2005
- Veröffentlichung
- 18. Mai 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/322H01L29/84H01L23/051
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- University of Florida Research Foundation, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Florida Research Foundation
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