Verfahren zum Schutz eines Metallspiegels gegen Degradation sowie Metallspiegel

WO2006053705 Art A1 26. Mai 2006

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006053705
Aktenzeichen: EP05804648
Anmeldetag: 15. November 2005
Veröffentlichung: 26. Mai 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G02B1/11

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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