Ion implantation device
WO2006054528
Art A1
26. Mai 2006
Anmelder: Ulvac Co. Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006054528
- Aktenzeichen
- EP05805948
- Anmeldetag
- 14. November 2005
- Veröffentlichung
- 26. Mai 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/317H01J37/147H01L21/265
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac Co. Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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