Treatment liquid supply apparatus, substrate treatment apparatus and treatment liquid preparation method

WO2006054669 Art A1 26. Mai 2006

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006054669
Aktenzeichen: EP05806772
Anmeldetag: 11. November 2005
Veröffentlichung: 26. Mai 2006
Rechtsraum: WO
IPC: B01F15/04B01J4/00H01L21/304

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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