Doped metal oxide films and systems for fabricating the same
Anmelder: Agency for Science, Technology and Research, The National University of Singapore 🇸🇬
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006054953
- Aktenzeichen
- EP05810694
- Anmeldetag
- 18. November 2005
- Veröffentlichung
- 26. Mai 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/365C23C16/40C23C16/52
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Agency for Science, Technology and Research
The National University of Singapore - Land
- 🇸🇬 Singapur
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