Autofocus device and optical measurement evaluation method

WO2006057451 Art A1 1. Juni 2006

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006057451
Aktenzeichen: EP05811361
Anmeldetag: 25. November 2005
Veröffentlichung: 1. Juni 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/28G01B11/00H01L21/027H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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