Masks with submicron openings for microstructures

WO2006057644 Art A1 1. Juni 2006

Anmelder: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006057644
Aktenzeichen: EP04821390
Anmeldetag: 23. November 2004
Veröffentlichung: 1. Juni 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00H01L21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Georgia Tech Research Corporation

Die Georgia Tech Research Corporation ist die Einrichtung des Georgia Institute of Technology in den USA, die Forschungsverträge verwaltet und geistiges Eigentum der Universität lizenziert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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