Direct imprinting of etch barriers using step and flash imprint lithography

WO2006057745 Art A2 1. Juni 2006

Anmelder: MOTOROLA, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006057745
Aktenzeichen: EP05810010
Anmeldetag: 21. Oktober 2005
Veröffentlichung: 1. Juni 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/4763

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MOTOROLA, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Motorola

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit historischem Sitz in Schaumburg, Illinois. Motorola war ein bedeutender Hersteller von Mobilfunkgeräten, Halbleitern und Kommunikationstechnik, bevor es in mehrere Nachfolgegesellschaften wie Motorola Solutions und Motorola Mobility aufgeteilt wurde.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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