Method for treating development waste liquid

WO2006059760 Art A1 8. Juni 2006

Anmelder: Tokuyama Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006059760
Aktenzeichen: EP05811308
Anmeldetag: 29. November 2005
Veröffentlichung: 8. Juni 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/30C02F1/02C02F1/46H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Tokuyama Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokuyama

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.

725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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