Target for extreme ultraviolet light and x-ray source and process for producing the same

WO2006064592 Art A1 22. Juni 2006

Anmelder: OSAKA UNIVERSITY 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006064592
Aktenzeichen: EP05780856
Anmeldetag: 29. August 2005
Veröffentlichung: 22. Juni 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G21K5/08H05G2/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: OSAKA UNIVERSITY
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Osaka University

Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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