Coating apparatus, organic material thin film forming method and organic el panel manufacturing apparatus

WO2006064792 Art A1 22. Juni 2006

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006064792
Aktenzeichen
EP05816499
Anmeldetag
13. Dezember 2005
Veröffentlichung
22. Juni 2006
Rechtsraum
WO
IPC
H05B33/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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