System, method and apparatus for in-situ substrate inspection

WO2006065507 Art A2 22. Juni 2006

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006065507
Aktenzeichen: EP05852284
Anmeldetag: 28. November 2005
Veröffentlichung: 22. Juni 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/00G06K9/00G01N21/88

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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