Technique for recuding bakcside particles

WO2006065778 Art A2 22. Juni 2006

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006065778
Aktenzeichen: EP05853815
Anmeldetag: 13. Dezember 2005
Veröffentlichung: 22. Juni 2006
Rechtsraum: WO
IPC: B08B3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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