Optical Element

WO2006066816 Art A1 29. Juni 2006

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006066816
Aktenzeichen: EP05822650
Anmeldetag: 16. Dezember 2005
Veröffentlichung: 29. Juni 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G02B1/02G02B13/14C30B29/22C30B29/28

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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