Apparatus for mounting two or more optical elements and method for processing the surface of an optical element

WO2006069785 Art A1 6. Juli 2006

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006069785
Aktenzeichen: EP05824205
Anmeldetag: 22. Dezember 2005
Veröffentlichung: 6. Juli 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/00G02B7/02G03F7/20G01M11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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