Method for beam calibration and usage of a calibration body
WO2006072583
Art A2
13. Juli 2006
Anmelder: Applied Materials GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006072583
- Aktenzeichen
- EP06700463
- Anmeldetag
- 5. Januar 2006
- Veröffentlichung
- 13. Juli 2006
- Rechtsraum
- WO
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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