Pattern defect inspection device, method thereof, and computer-readable recording medium containing program for the same

WO2006073155 Art A1 13. Juli 2006

Anmelder: NEC Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006073155
Aktenzeichen: EP06702129
Anmeldetag: 5. Januar 2006
Veröffentlichung: 13. Juli 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/24G01N21/956G03F1/08H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NEC Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NEC

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.

19.509 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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