Low-pressure removal of photoresist and etch residue

WO2006073622 Art A2 13. Juli 2006

Anmelder: Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006073622
Aktenzeichen: EP05849736
Anmeldetag: 1. Dezember 2005
Veröffentlichung: 13. Juli 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G01L21/30G01R31/00B44C1/22H01L21/302

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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