Method and apparatus for controlling the output of a gas discharge laser system

WO2006076261 Art A2 20. Juli 2006

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006076261
Aktenzeichen: EP06717764
Anmeldetag: 9. Januar 2006
Veröffentlichung: 20. Juli 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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