Fluorinated carbon film and method for producing same
WO2006077847
Art A1
27. Juli 2006
Anmelder: Kyoto University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006077847
- Aktenzeichen
- EP06711850
- Anmeldetag
- 18. Januar 2006
- Veröffentlichung
- 27. Juli 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/314
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kyoto University
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kyoto University
Renommierte japanische Universität mit breiter Grundlagenforschung in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.
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