Film-forming apparatus, film-forming method, manufacturing method, and titanium film

WO2006077891 Art A1 27. Juli 2006

Anmelder: ADVANTEST CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006077891
Aktenzeichen: EP06711926
Anmeldetag: 18. Januar 2006
Veröffentlichung: 27. Juli 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/54C23C14/14C23C14/24H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ADVANTEST CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Advantest

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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