Method for forming resist pattern, supercritical processing liquid for lithography process and method for forming antireflection film

WO2006080429 Art A1 3. August 2006

Anmelder: NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION, TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006080429
Aktenzeichen: EP06712466
Anmeldetag: 27. Januar 2006
Veröffentlichung: 3. August 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/38G03F7/11H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NTT (Nippon Telegraph and Telephone)

Japanischer Telekommunikationskonzern mit Sitz in Tokio. NTT ist im Festnetz-, Mobilfunk- und Datennetzgeschäft aktiv und entwickelt Technologien für Netzwerkinfrastruktur, Glasfaser, Cloud-Dienste und Informations- und Kommunikationssysteme.

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🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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