Method for forming resist pattern, supercritical processing liquid for lithography process and method for forming antireflection film

WO2006080429 Art A1 3. August 2006

Anmelder: NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION, TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006080429
Aktenzeichen: EP06712466
Anmeldetag: 27. Januar 2006
Veröffentlichung: 3. August 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/38G03F7/11H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NTT (Nippon Telegraph and Telephone)

Japanischer Telekommunikationskonzern mit Sitz in Tokio. NTT ist im Festnetz-, Mobilfunk- und Datennetzgeschäft aktiv und entwickelt Technologien für Netzwerkinfrastruktur, Glasfaser, Cloud-Dienste und Informations- und Kommunikationssysteme.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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