Semiconductor device, and method and apparatus for manufacturing same

WO2006082756 Art A1 10. August 2006

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006082756
Aktenzeichen: EP06712461
Anmeldetag: 27. Januar 2006
Veröffentlichung: 10. August 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3205H01L21/768H01L23/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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