Magnetic circuit device for magnetron sputtering and its manufacturing method

WO2006082863 Art A1 10. August 2006

Anmelder: HITACHI METALS, LTD., Neomax Kiko Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006082863
Aktenzeichen: EP06712837
Anmeldetag: 1. Februar 2006
Veröffentlichung: 10. August 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: HITACHI METALS, LTD.
Neomax Kiko Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Proterial

Japanisches Unternehmen (frühere Firmierung Hitachi Metals), das Spezialstähle, Magnetwerkstoffe und Metallkomponenten für Industrie und Automobilbau herstellt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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