Wafer Cleaning After Via-Etching

WO2006086996 Art A1 24. August 2006

Anmelder: Freescale Semiconductor Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006086996
Aktenzeichen: EP05715340
Anmeldetag: 15. Februar 2005
Veröffentlichung: 24. August 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/311H01L21/3105H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Freescale Semiconductor Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Freescale Semiconductor

Ehemaliger US-amerikanischer Halbleiterhersteller, hervorgegangen aus einem Spin-off von Motorola, mit Schwerpunkt auf Mikrocontrollern und eingebetteten Prozessoren. Seit 2015 Teil von NXP Semiconductors.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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