Method for forming organosilicon film, semiconductor device having such organosilicon film and method for manufacturing same

WO2006088015 Art A1 24. August 2006

Anmelder: NEC Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006088015
Aktenzeichen
EP06713666
Anmeldetag
14. Februar 2006
Veröffentlichung
24. August 2006
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/312C07F7/08H01L21/768H01L23/522
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NEC Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 NEC

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.

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