Method for forming organosilicon film, semiconductor device having such organosilicon film and method for manufacturing same
WO2006088015
Art A1
24. August 2006
Anmelder: NEC Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006088015
- Aktenzeichen
- EP06713666
- Anmeldetag
- 14. Februar 2006
- Veröffentlichung
- 24. August 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/312C07F7/08H01L21/768H01L23/522
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NEC Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
NEC
Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.
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