A method and system for improved delivery of a precursor vapor to a processing zone

WO2006088562 Art A2 24. August 2006

Anmelder: Tokyo Electron Ltd., International Business Machines Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006088562
Aktenzeichen: EP05856145
Anmeldetag: 30. Dezember 2005
Veröffentlichung: 24. August 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44C23C16/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Ltd.
International Business Machines Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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