System and method for absorbance modulation lithography
WO2006088643
Art A2
24. August 2006
Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006088643
- Aktenzeichen
- EP06720026
- Anmeldetag
- 31. Januar 2006
- Veröffentlichung
- 24. August 2006
- Rechtsraum
- WO
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Massachusetts Institute of Technology
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Massachusetts Institute of Technology
US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.
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