Spatially resolving radiation detector and fabricating and operating methods

WO2006089724 Art A1 31. August 2006

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006089724
Aktenzeichen: EP06707156
Anmeldetag: 22. Februar 2006
Veröffentlichung: 31. August 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L31/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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