Resist Composition

WO2006090559 Art A1 31. August 2006

Anmelder: DAIKIN INDUSTRIES, LTD., Yamashita, Tsumeo 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006090559
Aktenzeichen: EP06712571
Anmeldetag: 30. Januar 2006
Veröffentlichung: 31. August 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/039C08F20/28H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
Yamashita, Tsumeo
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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