Semiconductor device manufacturing method and substrate processing apparatus
WO2006090645
Art A1
31. August 2006
Anmelder: Kookje (kokusai) Electric Korea Co., Ltd., Hitachi Kokusai Electric Inc. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006090645
- Aktenzeichen
- EP06713979
- Anmeldetag
- 17. Februar 2006
- Veröffentlichung
- 31. August 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kookje (kokusai) Electric Korea Co., Ltd.
Hitachi Kokusai Electric Inc. - Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
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