Method for processing wafer

WO2006090650 Art A1 31. August 2006

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006090650
Aktenzeichen: EP06714009
Anmeldetag: 17. Februar 2006
Veröffentlichung: 31. August 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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