Norbornene-type polymers, compositions thereof and lithographic processes using such compositions

WO2006091802 Art A2 31. August 2006

Anmelder: Promerus LLC, TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006091802
Aktenzeichen
EP06736007
Anmeldetag
23. Februar 2006
Veröffentlichung
31. August 2006
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/038
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Promerus LLC
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land
🇺🇸 USA
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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